作為不銹鋼管系工程中的一員，HP超高純供氣系統更是如此，細節的緊張性表現得淋漓盡致，大型氣體(液體)體系中對特氣純度的使用要求可達99.9999%，可以說，特氣體系每一個地方出現一個小題目，就會導致氣體不純，生產出題目，甚至事故！

如今我們來細致介紹一下其中的一個細節，UHP超高純供氣體系中的不銹鋼管道！

對于半導體、集成電路、生物醫藥等行業來說，輸送超純介質(氣體)的高純氣體管道必要的是一種綜合考慮組織穩固性、耐蝕性、加工性能的不銹鋼管。

因此，高純度的管道既要有美觀的表面(外部純度)，又要有物美價廉的材料(內部純度)。

一、外部純凈：與傳統不銹鋼管道內外外觀灰蒙蒙、凹凸不平的感覺不同，目前超純氣體管道不僅表面光潔，而且內部外觀粗糙度也較好，以確保管道體系對輸送的介質保持中性，并保證的徹底吹掃和清潔性能，目前工程師和技術人員經常提到的外觀粗糙度Ra值正是管道體系內部外觀粗糙度的基本要求。為保證主動軌焊質量和服從，當然尺寸公差也是基本的要求。

二、內部純凈指材料純凈：真正意義上的超純凈，氣管材僅僅有美觀的內外外觀是遠遠不夠的，對管路體系的材料也有特別很是嚴酷的要求，不管是化學成分照舊機械性能都有肯定的定義。因此，我們所說的純凈管是由純凈管316L組成，指不銹鋼中的不純物盡可能削減到肯定的范圍內，非金屬同化及氣體成分控制在限度，而高純凈管則可分為BA級和EP級，超高純供氣體系一樣平常采用不銹鋼管316LEP級，即電解拋光不銹鋼管。

總之，在保證超高純電子特氣管道體系中性的情況下，我們要看重管道外觀粗糙度Ra值、尺寸公差和自己的潔凈材質，使顆粒產生和積滯得到有用克制，確保可焊性和焊接質量。如此可以保證內外純凈的不銹鋼管子，在焊接時可削減煙塵的發生，產生顆粒，進步焊接部位的耐蝕性和平滑性。